蓝英装备：公司清密清洗业务在芯片行业中的客户包含光刻机制造企业的合资

来源：同花顺金融研究中心

同花顺（300033）金融研究中心9月21日讯，有投资者向蓝英装备（300293）提问， 您好！贵司和中科院有合作吗？另外贵司有储备光刻机技术和相关的专利吗？有的话是否会和其他光刻机公司合作。

公司回答表示，感谢您的关注。公司以位于瑞士的二级子公司公司UCM AG为基础，成立精密清洗业务全球竞争力及研发中心，为高端芯片制造设备的光学系统和机械系统的各类核心部件、各类精密测量用光学部件，以及PVD、CVD涂层前清洗等典型的清洁度要求最高的应用领域等定制高端专业化的清洗设备及系统化解决方案。公司清密清洗业务在芯片行业中的客户包含光刻机制造企业的合资（参股）公司，该等客户负责制造光刻机的核心光学系统。目前公司与中科院还没有开展合作。

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