江苏“最美科技工作者”︱傅志伟：勇攀高峰，填补光刻技术空白

新江苏·中国江苏网讯（记者 国亚妮）“集成电路是信息时代的皇冠，而光刻技术则是皇冠上的明珠。”一直以来，国外在光刻设备、光刻材料领域进行着技术垄断，特别是光刻技术，作为一种精细到纳米级的微加工工艺，它是整个微电子行业最尖端的技术，也是我国集成电路产业中的最大短板。

作为集成电路领域一名年轻的企业家，徐州博康信息化学品有限公司董事长傅志伟带领着他的团队向着垄断与封锁不断突破，搭建起中国光刻领域最大的研发平台，为我国填补了光刻领域的空白，为中国光刻产业的发展开辟了一条崭新的道路。

梦想起航 开启光刻人生

1998年，傅志伟毕业于南京大学生物制药专业。毕业后他到上海打拼，创办了一家医药科研公司。

工作中，傅志伟要求客服记录询单。“询单中屡屡出现的化学结构引起了我的注意。”一个来自日本的高频化学结构引起了傅志伟的注意。做科研的人，总有一种钻研的劲儿，傅志伟迫切想要知道这样一种物质的用途。查了半年，傅志伟和团队终于知道这是一种高附加值电子化学品，名叫光刻胶，他们的兴奋程度不亚于发现了新大陆。

傅志伟了解到光刻是集成电路制造最关键、最核心的技术，而集成电路作为各行各业实现信息化、智能化的基础，无论是在军事上还是民用上，都起着不可替代的作用。傅志伟立即向公司申请立项，做光刻胶研发，但是管理层并未通过。因为了解光刻胶的价值和意义，同时也知道这项材料的研发在国内是一项空白，所以在2004年，迎着挑战，傅志伟毅然决定自己创立企业，研发光刻胶。“这是一个全新的商业机会，有很大的市场空间。”傅志伟说，“更是因为这是非常难的技术难关，作为技术人员，我有挑战的热情。”

攻坚克难 突破技术封锁

同其他尖端科技一样，发达国家在光刻胶也对我国进行了技术封锁。“封锁让我们感觉到屈辱和压力，但也让我们看到了巨大的机遇。”掌握核心技术、突破封锁和垄断、改变全球光刻产业格局，成为傅志伟的梦想与使命。

2007年，傅志伟创办了上海博康精细化工有限公司，开始投身光刻行业。最初的时候，资金紧张，实验室建在上海的染料厂里，通风处理用排风扇，实验台用白瓷砖贴，即便是这样艰苦的条件，公司的实验都没有停。

掌握着丰富的知识储备的同时，傅志伟还拥有着灵活的思维方式。“例如研究汽车材料，原有方法成本居高不下。傅总提出用电解的方法，大家提出异议，认为不是大家常规、擅长的方式，之前用过这个方式失败过。但他坚持，多方查阅资料、咨询专家，大家采纳了他的建议，果然成功了。”傅志伟创业初期的伙伴潘新刚说。

2010年，傅志伟在邳州经济开发区成立了徐州博康信息化学品有限公司。为了摘取科技“皇冠上的明珠”，傅志伟与他的团队做了数万批次反应试验，忍耐了无数次的失败。从上海启动研发到徐州第一批量产光刻胶单体下线，历经8年，忍耐了无数次的失败、重来，再失败、再重来，最终攻克了金属离子和纯化工艺等关键难题，成功突破了世界最先进193nm光刻胶单体生产技术，并开发出一系列光刻胶产品，成功填补了我国在这一领域的空白，使博康成为国内唯一一家研发和规模化生产中高端光刻胶材料的企业，为高端光刻胶商业化生产铺平道路。

目前，傅志伟团队共自主研发出20多款光刻材料，不仅填补了国内空白，同时也使博康集团成为了我国唯一能够制造半导体纳米级制板光刻设备的企业。

广纳人才 助力“科技强国”

2012年，博康成为除日本之外，光刻胶材料领域唯一的供应商，因此应邀参与到光刻产品研发的项目中去。当时，博康和一家美国公司、一家日本公司进行三方合作。一次三方会议后，美国公司人员在会议中直接请求傅志伟团队离开，因为他们要进行下一阶段的技术讨论。一刻钟后，日本公司人员礼貌地请回了傅志伟，因为在他们下一阶段的技术讨论中，有一个关键部分依旧与博康的技术有着密切联系。傅志伟和团队对这部分的技术做了阐述和讨论后，再次被请求离开。这次会议上的受挫对傅志伟来说成为一个很大的刺激。

在行业的国际性会议中感受，令傅志伟萌发出掌握光刻行业全流程核心技术的想法。于是从2012年开始，傅志伟不再局限于光刻胶材料的生产，而是开始做光刻胶和光刻设备的研发。

短短三年时间，博康就完成了半导体纳米级制版光刻设备、封装及PCB激光直接成像设备两个国家科技重大专项。2016年，博康集团成功收购了国际顶尖的电子束光刻机生产商——英国NBL公司，推出了新一代LDI产品，打破西方国家的封锁和垄断。目前，傅志伟力争通过5到10年的努力，将其打造成为电子束光刻机全球第一品牌，成为中国领先、世界知名的半导体设备公司。

成就的达成离不开傅志伟对人才的重视。从最初的7个人，发展到今天拥有500余人，目前博康打造了一个全面聚集该领域人才的平台，聚集了一支拥有振兴民族产业使命感的团队。团队一半以上是研发人员，一半以上是博士和硕士。

“我始终坚信未来全球半导体产业发展的核心动力在中国，科技创新的源泉也会在中国。”近年来，傅志伟用自己的创业历程和行业资源，吸引了美国、比利时和日本等国留学的大量有志青年回国创业。目前，徐州已经形成了拥有近40家半导体企业的产业集群，傅志伟用自己的实际行动帮助家乡徐州实现了“通过引进一个人才，落地一个创业团队，从而形成一个产业”。

“我将坚定不移地走科技发展创新之路，专注光刻事业、引领创新技术、聚集专业人才，进一步扩大高端光刻材料和设备产能。”傅志伟表示，他会努力拼搏，为中国半导体产业发展贡献属于自己的一份力量。